High dielectric and low traps specifications of Ga2O3 layer deposition on n- Si using plasma-enhanced ALD method
InternatIonal Conference on ExperImental and ComputatIonal EngIneerIng ScIences (ICECES 2024), Ankara, Türkiye, 30 Mayıs 2024, (Özet Bildiri)
- Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
- Basıldığı Şehir: Ankara
- Basıldığı Ülke: Türkiye
- İstanbul Ticaret Üniversitesi Adresli: Evet