High dielectric and low traps specifications of Ga2O3 layer deposition on n- Si using plasma-enhanced ALD method

ONUR Y.

InternatIonal Conference on ExperImental and ComputatIonal EngIneerIng ScIences (ICECES 2024), Ankara, Türkiye, 30 Mayıs 2024, (Özet Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
• Basıldığı Şehir: Ankara
• Basıldığı Ülke: Türkiye
• İstanbul Ticaret Üniversitesi Adresli: Evet